繁体
繁体
¦
中文
¦
English
搜索
首頁
Home
關於我們
About Us
主要產品
Nav
新聞資訊
Nav
參展分享
Nav
與我們聯絡
Contact Us
2016 高科技產業環保永續發展國際研討會
2017 世界半導體環安衛-舊廠房改造
2019 台灣半導體高科技節能減碳論壇
留言板
产品分类
Local Scrubber / 廢氣處理機
Chiller / 冰水機
Cold Trap / 冷井
EP System / 靜電系統
Local Scrubber_ 附屬設備
Online service
Service 1
工作時間
周一至周五 :9:00-18:00
聯繫方式
Mailbox:leo.hsieh@chiyotw.com
Contact Number:+ 886 3-5369126
產品清單
已選擇:
SERIES / 系列
:
EP system 靜電除塵系列
CMS 遠端監控系列
Wet 水洗系列
Adsorbent 吸附劑系列
Catalyst 觸媒系列
Thermal 電加熱系列
Burn 燃燒系列
Plasma 電漿系列
Cold Trap 冷井系列
APPLICABLE / 適用制程
:
MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程
適用所有 Local Scrubber
HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
Wet Bench 專用
可水洗氣體適用
可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程
Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
CVD , Diffusion 適用
CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
:
CHIYO_LS_CMS
EcoEpi-Wet
EcoPlasma_Twin
EcoPlasma-E
EcoPlasma-T
EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
EcoPlasma-Epi
EcoBurn-500
EcoBurn-Twin
EcoHeat-500
EcoCat
EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
EcoDry-100 , 200
EcoWet
EP System
IPA Scrubber
Cold Trap - Coli Type
CAPACITY / 處理能力
:
50~100 , 101~200, 201~300台
H2: 200slm
HCFCs (冷媒) 2kg/Hr.
500slm * 2
H2: 0~600slm , NH3: 0~200slm
100slm , 200slm
500, 1000slm
1600, 2500, 3200slm
300slm
40 Liter
83CMM
10-1000CMM
500slm
名稱
上架時間
價格
-
確定
1
/2
幻燈片
Trap ( Coli Type , Foaming Type , Combi Type )
SERIES / 系列:
Cold Trap 冷井系列
APPLICABLE / 適用制程:
CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
Cold Trap - Coli Type
Plasma - EPI
SERIES / 系列:
Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程:
MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoPlasma-Epi
Local Scrubber_CMS
SERIES / 系列:
CMS 遠端監控系列
APPLICABLE / 適用制程:
適用所有 Local Scrubber
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
CHIYO_LS_CMS
IPA Scrubber
SERIES / 系列:
EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程:
Wet Bench 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
IPA Scrubber
EP System
SERIES / 系列:
EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程:
CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EP System
EcoWet
SERIES / 系列:
Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程:
可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoWet
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列:
Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程:
CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoPlasma_Twin
EcoPlasma T
SERIES / 系列:
Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程:
CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoPlasma-T
EcoPlasma F
SERIES / 系列:
Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程:
HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
EcoPlasma E
SERIES / 系列:
Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程:
Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoPlasma-E
EcoHeat
SERIES / 系列:
Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程:
CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoHeat-500
EcoEpi-Wet
SERIES / 系列:
Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程:
MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號:
EcoEpi-Wet
上一頁
1
2
下一頁