在線客服
 工作時間
周一至周五 :9:00-18:00
 聯繫方式
郵箱:leo.hsieh@chiyotw.com
客服熱線:+ 886 3-5369126
產品清單
已選擇:
Trap ( Coli Type , Foaming Type , Combi Type )
SERIES / 系列: Cold Trap 冷井系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: Cold Trap - Coli Type
Plasma - EPI
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-Epi
Local Scrubber_CMS
SERIES / 系列: CMS 遠端監控系列
APPLICABLE / 適用制程: 適用所有 Local Scrubber
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: CHIYO_LS_CMS
IPA Scrubber
SERIES / 系列: EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程: Wet Bench 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: IPA Scrubber
EP System
SERIES / 系列: EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EP System
EcoWet
SERIES / 系列: Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程: 可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoWet
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma_Twin
EcoPlasma T
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-T (De-Nox)
EcoPlasma F
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
EcoPlasma E
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-E
EcoHeat
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoHeat-500
EcoEpi-Wet
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi-Wet
上一頁 1 2 下一頁