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產品清單
已選擇:
CAPACITY / 處理能力 : 500slm
EcoPlasma T
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-T (De-Nox)
EcoPlasma E
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-E
EcoCat
SERIES / 系列: Catalyst 觸媒系列
APPLICABLE / 適用制程: PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoCat
EcoBurn
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-500
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