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SERIES / 系列 : Thermal 電加熱系列
EcoHeat
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoHeat-500
EcoEpi-Wet
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi-Wet
EcoEpi
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
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