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CAPACITY / 處理能力 : HCFCs  (冷媒) 2kg/Hr.
EcoPlasma F
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
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