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EQUIPMENT MODEL / 設備型號 : EcoPlasma-Epi
Plasma - EPI
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-Epi
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