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APPLICABLE / 適用制程 : Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EcoPlasma E
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-E
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