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APPLICABLE / 適用制程 : CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
 
CAPACITY / 處理能力
 
EcoBurn
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-500
EcoBurn-Twin
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-Twin
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma_Twin
EP System
SERIES / 系列: EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EP System
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