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APPLICABLE / 適用制程 : CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
 
CAPACITY / 處理能力
 
EcoHeat
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoHeat-500
EcoPlasma T
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-T (De-Nox)
Trap ( Coli Type , Foaming Type , Combi Type )
SERIES / 系列: Cold Trap 冷井系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: Cold Trap - Coli Type
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