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已選擇：
CAPACITY / 處理能力 : 300slm
SERIES / 系列
：
Wet 水洗系列 Plasma 電漿系列
 
APPLICABLE / 適用制程
：
可水洗氣體適用 CVD , Etch , Diffusion 適用
 
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
：
EcoPlasma-T EcoWet
 
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幻燈片
EcoWet
EcoWet
SERIES / 系列： Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程： 可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoWet
EcoPlasma T
EcoPlasma T
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-T
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