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Local Scrubber / 廢氣處理機

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已選擇：

SERIES / 系列 : Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程

：

MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程 HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用 Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用 CVD , Etch , Diffusion 適用

EQUIPMENT MODEL / 設備型號

：

EcoPlasma_Twin EcoPlasma-E EcoPlasma-T EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用) EcoPlasma-Epi

CAPACITY / 處理能力

：

H2: 200slm HCFCs (冷媒) 2kg/Hr. 500slm * 2 300slm 500slm

1/1

SERIES / 系列： Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程： MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程

EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-Epi

EcoPlasma F

SERIES / 系列： Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程： HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用

EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)

Ecoplasma-Twin

SERIES / 系列： Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用

EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma_Twin

EcoPlasma T

SERIES / 系列： Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用

EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-T

EcoPlasma E

SERIES / 系列： Plasma 電漿系列

APPLICABLE / 適用制程： Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用

EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-E