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產品清單
已選擇：
SERIES / 系列
：
EP system 靜電除塵系列 CMS 遠端監控系列 Wet 水洗系列 Adsorbent 吸附劑系列 Catalyst 觸媒系列 Thermal 電加熱系列 Burn 燃燒系列 Plasma 電漿系列 Cold Trap 冷井系列
 
APPLICABLE / 適用制程
：
MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程 適用所有 Local Scrubber HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用 PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程) Wet Bench 專用 可水洗氣體適用 可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程 Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用 MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用 CVD , Diffusion 適用 CVD , Etch , Diffusion 適用
 
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
：
CHIYO_LS_CMS EcoEpi-Wet EcoPlasma_Twin EcoPlasma-E EcoPlasma-T EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用) EcoPlasma-Epi EcoBurn-500 EcoBurn-Twin EcoHeat-500 EcoCat EcoEpi500, 1600, 2500, 3200 EcoDry-100 , 200 EcoWet EP System IPA Scrubber Cold Trap - Coli Type
 
CAPACITY / 處理能力
：
50~100 , 101~200, 201~300台 H2: 200slm HCFCs  (冷媒) 2kg/Hr. 500slm * 2 H2: 0~600slm , NH3: 0~200slm 100slm , 200slm 500, 1000slm 1600, 2500, 3200slm 300slm 40 Liter 83CMM 10-1000CMM 500slm
 
名稱
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價格
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幻燈片
EcoPlasma E
EcoPlasma E
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-E
EcoPlasma T
EcoPlasma T
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-T
EcoBurn
EcoBurn
SERIES / 系列： Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoBurn-500
EP System
EP System
SERIES / 系列： EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EP System
EcoWet
EcoWet
SERIES / 系列： Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程： 可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoWet
EcoCat
EcoCat
SERIES / 系列： Catalyst 觸媒系列
APPLICABLE / 適用制程： PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoCat
EcoHeat
EcoHeat
SERIES / 系列： Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoHeat-500
EcoBurn-Twin
EcoBurn-Twin
SERIES / 系列： Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoBurn-Twin
EcoDry
EcoDry
SERIES / 系列： Adsorbent 吸附劑系列
APPLICABLE / 適用制程： 可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoDry-100 , 200
Trap ( Coli Type , Foaming Type , Combi Type )
Trap ( Coli Type , Foaming Type , Combi Type )
SERIES / 系列： Cold Trap 冷井系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： Cold Trap - Coli Type
EcoEpi
EcoEpi
SERIES / 系列： Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程： MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
Ecoplasma-Twin
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma_Twin
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