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產品清單
已選擇：
CAPACITY / 處理能力 : 500slm
SERIES / 系列
：
Catalyst 觸媒系列 Burn 燃燒系列 Plasma 電漿系列
 
APPLICABLE / 適用制程
：
PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程) Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用 CVD , Etch , Diffusion 適用
 
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
：
EcoPlasma-E EcoBurn-500 EcoCat
 
名稱
上架時間
價格
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幻燈片
EcoBurn
EcoBurn
SERIES / 系列： Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoBurn-500
EcoCat
EcoCat
SERIES / 系列： Catalyst 觸媒系列
APPLICABLE / 適用制程： PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoCat
EcoPlasma E
EcoPlasma E
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-E
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