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Local Scrubber / 廢氣處理機
當前條件:
Local Scrubber / 廢氣處理機
已選擇:
CAPACITY / 處理能力 : H2: 0~600slm , NH3: 0~200slm
EcoEpi
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
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