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Local Scrubber / 廢氣處理機
當前條件：
Local Scrubber / 廢氣處理機
已選擇：
SERIES / 系列
：
Wet 水洗系列 Adsorbent 吸附劑系列 Catalyst 觸媒系列 Thermal 電加熱系列 Burn 燃燒系列 Plasma 電漿系列
 
APPLICABLE / 適用制程
：
PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程) 可水洗氣體適用 可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程 Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用 MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用 CVD , Diffusion 適用 CVD , Etch , Diffusion 適用
 
EQUIPMENT MODEL / 設備型號
：
EcoPlasma_Twin EcoPlasma-E EcoPlasma-T EcoBurn-500 EcoBurn-Twin EcoHeat-500 EcoCat EcoEpi500, 1600, 2500, 3200 EcoDry-100 , 200 EcoWet
 
CAPACITY / 處理能力
：
500slm * 2 H2: 0~600slm , NH3: 0~200slm 100slm , 200slm 500, 1000slm 300slm 500slm
 
名稱
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價格
-
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幻燈片
EcoBurn
EcoBurn
SERIES / 系列： Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoBurn-500
EcoBurn-Twin
EcoBurn-Twin
SERIES / 系列： Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoBurn-Twin
EcoCat
EcoCat
SERIES / 系列： Catalyst 觸媒系列
APPLICABLE / 適用制程： PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoCat
EcoDry
EcoDry
SERIES / 系列： Adsorbent 吸附劑系列
APPLICABLE / 適用制程： 可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoDry-100 , 200
EcoEpi
EcoEpi
SERIES / 系列： Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程： MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
EcoHeat
EcoHeat
SERIES / 系列： Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoHeat-500
EcoPlasma E
EcoPlasma E
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-E
EcoPlasma T
EcoPlasma T
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma-T
Ecoplasma-Twin
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列： Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程： CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoPlasma_Twin
EcoWet
EcoWet
SERIES / 系列： Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程： 可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號： EcoWet
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