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EcoBurn
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-500
EcoBurn-Twin
SERIES / 系列: Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoBurn-Twin
EcoCat
SERIES / 系列: Catalyst 觸媒系列
APPLICABLE / 適用制程: PFCs & HFCs Gas (無粉塵製程)
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoCat
EcoDry
SERIES / 系列: Adsorbent 吸附劑系列
APPLICABLE / 適用制程: 可在常溫被吸附劑吸附之廢氣製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoDry-100 , 200
EcoEpi
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi500, 1600, 2500, 3200
EcoEpi-Wet
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoEpi-Wet
EcoHeat
SERIES / 系列: Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoHeat-500
EcoPlasma E
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: Etch 低粉塵製程, PFCs & HFC Gas , 特氣房氣瓶櫃適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-E
EcoPlasma F
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
EcoPlasma T
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma-T (De-Nox)
Ecoplasma-Twin
SERIES / 系列: Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoPlasma_Twin
EcoWet
SERIES / 系列: Wet 水洗系列
APPLICABLE / 適用制程: 可水洗氣體適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EcoWet
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