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Plasma - EPI
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Plasma - EPI

SERIES / 系列 Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程 MOCVD , EPI , 外延 , 大流量氫(H2)等多粉塵製程
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 EcoPlasma-Epi
CAPACITY / 處理能力 H2: 200slm
Introduction

電漿水洗式尾氣(廢氣)理機- EPI製程含大量 TESO & SiH4 & H2 & 腐蝕氣體等相關製程專用

保護環境是我們每個人的責任

機台類型:電漿水洗式 + 特殊控制系統 (可依據溫度調節水量)

工藝流程:廢氣進入反應腔室處理→流入氣體與經渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣

處理氣體:H2: 200slm & SiH4 , TESO 等高粉塵副產物製程及有腐蝕氣體專用