電漿水洗式尾氣(廢氣)處理機- EPI製程含大量 TESO & SiH4 & H2 & 腐蝕氣體等相關製程專用
保護環境是我們每個人的責任
機台類型：電漿水洗式 + 特殊控制系統 (可依據溫度調節水量)
工藝流程：廢氣進入反應腔室處理→流入氣體與經渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣
處理氣體：H2: 200slm & SiH4 , TESO 等高粉塵副產物製程及有腐蝕氣體專用
