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EcoEpi-Wet
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EcoEpi-Wet

SERIES / 系列 Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程 MOCVD , EPI , 外延制程 , NH3 烤箱適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 EcoEpi-Wet
CAPACITY / 處理能力 1600, 2500, 3200slm
Introduction