雙內腔室加熱水洗(廢氣)處理機-MOCVD, EPI, NH3 烤箱, 大流量氫並有腐蝕氣體製程專用 (獨家專利)
保護環境是我們每個人的責任
機台類型：加熱水洗式
工藝流程：廢氣加熱高溫裂解於內外腔式(600~850C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣
處理氣體：NH3: 0-200slm / H2: 0-600slm
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