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Product
EcoPlasma F
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EcoPlasma F

SERIES / 系列 Plasma 電漿系列
APPLICABLE / 適用制程 HCFCs (冷媒) & F2 Gas 專用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 EcoPlasma-F (冷媒 & F2 Clean 氣體專用)
CAPACITY / 處理能力 HCFCs  (冷媒) 2kg/Hr.
Introduction

電漿水洗式尾氣(廢氣)理機- 冷媒銷毀 & 高氟氣 (F2) 製程專用 (獨家專利)

保護環境是我們每個人的責任

機台類型:電漿水洗式+De-HCFC system

工藝流程:廢氣進入反應腔室處理→De-HCFC system 與冷媒或高氟氣反應經渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣

處理氣體:HCFCs gas (R134, R22, R407A.....) & 半導體含大量氟氣製程


詳細細節請電洽 : +886-3-5334266

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