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EcoHeat
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EcoHeat

SERIES / 系列 Thermal 電加熱系列
APPLICABLE / 適用制程 CVD , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 EcoHeat-500
CAPACITY / 處理能力 500, 1000slm
Introduction

加熱水洗式尾氣(廢氣)處理機

保護環境是我們每個人的責任

機台類型:加熱水洗式

工藝流程:廢氣加熱高溫裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣處理氣體:可高溫裂解或氧化及可水洗廢氣


Heat & Wet Gas Scrubber

* 2~3 Zone Heater Control

       - Backup Function to Heater Fail

        - LongLife Time Heater

* Anti-clogging & Anti-corrosion

       - AirCurtain on boundary between Heating Chamber & Cooling Chamber   

       - INCONEL600 Material   in Heating Chamber

       - Teflon Coating in Wet Chamber

* EasyMaintenance

       - Reduce PM Time