在線客服
 工作時間
周一至周五 :9:00-18:00
 聯繫方式
郵箱:leo.hsieh@chiyotw.com
客服熱線:+ 886 3-5369126
產品詳情
EcoBurn
分享到:

EcoBurn

SERIES / 系列 Burn 燃燒系列
APPLICABLE / 適用制程 CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號 EcoBurn-500
CAPACITY / 處理能力 500slm
Introduction

燃燒水洗式尾氣(廢氣)處理機

保護環境是我們每個人的責任

機台類型:燃燒水洗式

工藝流程:天然氣高溫熱裂解有毒氣體→渦流水沖刷腔室保持腔室低於50C°→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣

處理氣體:PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...) .....


Burn & Wet Gas Scrubber

N2 Sleeve Head

    -   Anti-clogging for Powder, Long PM Term

Turbulence 3 Burning Nozzle

    -   Improve Gas Mixing by Turbulence

Water Flowing Wall

   -   Anti-clogging for Powder, Long PM Term

    -   Excellent Thermal Insulation

Easy Maintenance

    -   Reduce PM Time