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EP System

SERIES / 系列: EP system 靜電除塵系列
APPLICABLE / 適用制程: CVD , Etch , Diffusion 適用
EQUIPMENT MODEL / 設備型號: EP System
CAPACITY / 處理能力: 10-1000CMM
Introduction

EP System for Etch process - De-bad smell (除異味)

EP System for Diffusion - De-Powder PM2.5 (除粉塵)

EP System for Central Scubber - Do-Nox    

保護環境是我們每個人的責任

機台類型:EP System

工藝流程:水洗廢氣→電暈霧化水將可溶解或非可溶性毒氣及顆粒帶電附著於放電電極或是電極板→水洗將其沖刷至水洗槽 (詳細工藝電洽)

處理氣體:10-1000CMM