Product Introduction
产品介绍
电浆水洗式尾气(废气)处理机-CVD
保护环境是我们每个人的责任
机台类型:电浆水洗式-CVD
工艺流程:废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气
处理气体:PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)
燃烧水洗式尾气(废气)处理机
机台类型:燃烧水洗式
工艺流程:天然气高温热裂解有毒气体→涡流水冲刷腔室保持腔室低于50C°→水洗可溶解毒气→水洗降温排气
加热水洗式尾气(废气)处理机
机台类型:加热水洗式
工艺流程:废气加热高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气
处理气体:可高温裂解或氧化及可水洗废气
水洗式尾气(废气)处理机
机台类型:水洗式
工艺流程:废气进入水洗腔室一, 二, 三腔室→常温水洗可被水处里的气体
处理气体:可在常温被水处理之废气
吸附式尾气(废气)处理机
机台类型:吸附式
工艺流程:废气进入吸附桶→常温吸附特定废气
处理气体:可在常温被吸附剂吸附之废气
加热水洗式尾气(废气)处理机-MOCVD專用
机台类型:加热水洗式-MOCVD專用
处理气体:NH3 H2 SiH4
电浆水洗式尾气(废气)处理机-Etch
机台类型:电浆水洗式 -Etch
IPA尾气(废气)处理机
机台类型:IPA水洗式
工艺流程:
处理气体:IPA NH3 HF 。。。
粉塵去除尾气(废气)处理机
机台类型:EP
处理气体:異味 粉塵 酸霧
3000+
我们有3000+个项目经验
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