Product Introduction

产品介绍




Product Introduction


产品介绍



电浆水洗式尾气(废气)处理机-CVD

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:电浆水洗式-CVD

工艺流程:废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)


燃烧水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:燃烧水洗式

工艺流程:天然气高温热裂解有毒气体→涡流水冲刷腔室保持腔室低于50C°→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:PFCs Gas (CF4SF6NF3...)


加热水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:加热水洗式

工艺流程:废气高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:可高温裂解或氧化及可水洗废气


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水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:水洗式

工艺流程:废气进入水洗腔室一, , 腔室常温水洗可被水处里的气体

处理气体:可在常温被水处理之废气



吸附式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台型:吸附式

工艺流程:废气进入吸附桶常温吸附特定废气

处理气体:可在常温被吸附剂吸附之废气



加热水洗式尾气(废气)处理机-MOCVD專用

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:加热水洗式-MOCVD專用

工艺流程:废气高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:NH3 H2 SiH4



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电浆水洗式尾气(废气)处理机-Etch

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:电浆水洗式 -Etch

工艺流程:废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)


IPA尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:IPA水洗式

工艺流程:

处理气体:IPA NH3 HF 。。。


粉塵去除尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:EP

工艺流程:

处理气体:異味 粉塵 酸霧


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