电浆水洗式尾气(废气)处理机-CVD 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：电浆水洗式-CVD 工艺流程：废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气 处理气体：PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)
| 燃烧水洗式尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：燃烧水洗式 工艺流程：天然气高温热裂解有毒气体→涡流水冲刷腔室保持腔室低于50C°→水洗可溶解毒气→水洗降温排气 处理气体：PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)
| 加热水洗式尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：加热水洗式 工艺流程：废气加热高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气 处理气体：可高温裂解或氧化及可水洗废气 |
水洗式尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任 机台类型：水洗式 工艺流程：废气进入水洗腔室一, 二, 三腔室→常温水洗可被水处里的气体 处理气体：可在常温被水处理之废气
| 吸附式尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任 机台类型：吸附式 工艺流程：废气进入吸附桶→常温吸附特定废气 处理气体：可在常温被吸附剂吸附之废气
| 加热水洗式尾气(废气)处理机-MOCVD專用 保护环境是我们每个人的责任 机台类型：加热水洗式-MOCVD專用 工艺流程：废气加热高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气 处理气体：NH3 H2 SiH4 |
电浆水洗式尾气(废气)处理机-Etch 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：电浆水洗式 -Etch 工艺流程：废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气 处理气体：PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)
| IPA尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：IPA水洗式 工艺流程： 处理气体：IPA NH3 HF 。。。
| 粉塵去除尾气(废气)处理机 保护环境是我们每个人的责任
机台类型：EP 工艺流程： 处理气体：異味 粉塵 酸霧 |
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