CORE PRODUCT
核心產品
廢氣處理 | 粉塵削減 | 異味處理 | 溫室氣體處裡 |
ABOUT US 保護環境是我們每個人的責任 棨揚企業有限公司是一家專業從事半導體及傳統產業後段廢氣(溫室氣體 PFCs Gas , HFCs Gas)、有毒氣體、異味處理、及制程中產生的粉塵、黃白煙削減(PM2.5)、等環境污染治理和生態環境修復，集技術開發、技術服務、環保設備製造、工程總承包、資源綜合利用,以廢氣處理為主體的綜合性環保設備公司。
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Product Introduction
產品介紹
電漿水洗式尾氣(廢氣)處理機- CVD & Etch 多粉塵專用 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：電漿水洗式 for CVD & Etch 多粉塵 process 工藝流程：廢氣預熱處理→渦流電漿高溫裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣 處理氣體：PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...) & N2O....
| 燃燒水洗式尾氣(廢氣)處理機 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：燃燒水洗式 工藝流程：天然氣高溫熱裂解有毒氣體→渦流水沖刷腔室保持腔室低於50C°→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣 處理氣體：PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)
| 加熱水洗式尾氣(廢氣)處理機 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：加熱水洗式 工藝流程：廢氣加熱高溫裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣 處理氣體：可高溫裂解或氧化及可水洗廢氣 |
水洗式尾氣(廢氣)處理機 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：水洗式 工藝流程：廢氣進入水洗腔室一, 二, 三腔室→常溫水洗可被水處裡的氣體 處理氣體：可在常溫被水處理之廢氣
| 吸附式尾氣(廢氣)處理機 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：吸附式 工藝流程：廢氣進入吸附桶→常溫吸附特定廢氣 處理氣體：可在常溫被吸附劑吸附之廢氣
| 加熱PCW冷卻(廢氣)處理機-MOCVD, EPI, NH3 烤箱, 大流量氫製程專用 保護環境是我們每個人的責任 機台類型：加熱PCW冷卻式-MOCVD, EPI, NH3 over, 大流量氫氣製程專用 工藝流程：廢氣加熱高溫裂解(600~850C°)→水洗可溶解毒氣→水洗降溫排氣 處理氣體：NH3: 0-200slm / H2: 0-600slm |
| 環保是保持和發展生態平衡，擴大有用自然資源的再生產，協調人類與環境的關係。
Environmental protection is to maintain and develop ecological balance, to expand the reproduction of useful natural resources, and to coordinate the relationship between human and environment. |
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最新新聞
全國各地將大幅提高垃圾處理費排汙費
高非居民垃圾處理費、排汙費後,全國各省市將會陸續公佈相似措施,且二氧化硫等排汙費還會列入未來環境稅徵收範圍。
| 環保部設專項資金支持大氣污染防治計畫
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環保回收拯救世界 雖然我們不能像電影中的救世主般，以一己之力拯救地球於危難之中，但是我們的一言一行是可以影響地球未來的發展動向的。誠然，要想生活中處處環保沒有那麼簡單，但是它也沒有想像中的那麼困難。
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環保第一品牌 20年環保行業一線經驗 為您提供良好生活環境 |
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