CORE PRODUCT

核心产品







废气处理









粉尘削减








异味处理









温室气体处理



ABOUT US

保护环境是我们每个人的责任


棨扬企业有公司是一家专业从事半导体及传统产业后段废气(温室气体 PFCs Gas)、有毒气体、异味处理、及制程中产生的粉尘、黄白烟削减(PM2.5)、等环境污染治理和生态环境修复,集技术开发、技术服务、环保设备制造、工程总承包、资源综合利,以废气处理为主体的综合性环保设备公司。





64 3000+ 20

技术实绩专利


   

Product Introduction

产品介绍




电浆水洗式尾气(废气)处理机-CVD

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:电浆水洗式-CVD

工艺流程:废气预热处理→涡流电浆高温裂解(2,000~10,000C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:PFCs Gas (CF4、SF6、NF3...)


燃烧水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:燃烧水洗式

工艺流程:天然气高温热裂解有毒气体→涡流水冲刷腔室保持腔室低于50C°→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:PFCs Gas (CF4SF6NF3...)


加热水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:加热水洗式

工艺流程:废气高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:可高温裂解或氧化及可水洗废气


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水洗式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:水洗式

工艺流程:废气进入水洗腔室一, , 腔室常温水洗可被水处里的气体

处理气体:可在常温被水处理之废气

吸附式尾气(废气)处理机

保护环境是我们每个人的责任

机台型:吸附式

工艺流程:废气进入吸附桶常温吸附特定废气

处理气体:可在常温被吸附剂吸附之废气


加热水洗式尾气(废气)处理机-MOCVD專用

保护环境是我们每个人的责任

机台类型:加热水洗式-MOCVD專用

工艺流程:废气高温裂解(600~800C°)→水洗可溶解毒气→水洗降温排气

处理气体:NH3 SiH4 H2


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环保是保持和发展生态平衡,扩大有用自然资源的

产,协调人类与环境的关系。


Environmental protection is to maintain and develop ecological balance, to expand the reproduction of useful natural resources, and to coordinate the relationship between human and environment.

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